K-반도체 소재·부품 전문기업 한백정밀, 무산소동 '반도체 웨이퍼 진공 척' 공정 기술 개발

K-반도체 소재·부품 전문기업 (주)한백정밀(대표 홍승환)이 한국산업단지공단 경기지역본부(경기반월시화스마트그린산단사업단)의 사업다각화 지원 플랫폼 사업 지원을 통해 반도체 제조 공정에서 효율적인 가열(Heating)과 냉각(Cooling)이 가능한 무산소동(OFHC) 소재의 '반도체 웨이퍼 진공 척'을 개발하는 데 성공했다. 

반도체 웨이퍼 진공 척은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 안전하게 고정해 다양한 제조 공정을 원활하게 하는 반도체 제조 장비의 핵심 부품이다.

한백정밀의 무산소동 반도체 웨이퍼 진공 척은 스테이지 평탄도를 3㎛ 이하로 생산할 수 있으며, 불순물을 유발할 수 있는 산소가 없는 고순도 제품으로서 반도체 제조 공정 중 오염 위험을 감소시켜 최종 제품의 품질을 높이는 것이 특징이다.

이번 반도체 웨이퍼 진공 척을 개발하게 된 배경에는 '사업다각화 지원 플랫폼 사업'이 있기에 가능했다. 올해로 3년째 추진 중인 사업다각화 지원 플랫폼 사업은 한국산업단지공단에서 지원하는 반월시화스마트그린산업단지 촉진사업의 대표사업 중 하나로, 제조기업의 성장 정체 및 부가가치 창출 한계를 극복하고자 디지털 환경 기반의 신성장 동력 마련을 통한 사업 다각화를 성공적으로 지원하고 있다. 

신제품·신기술 개발을 통해 새로운 사업 영역으로 진출을 모색 중인 기업은 맞춤형 분석 플랫폼을 활용한 진단·컨설팅부터 각종 투자 연계 등 다양한 지원을 받을 수 있다.

사업다각화 지원 플랫폼 사업은 총 3년간 국비 120억원, 경기도비 2억6000만원, 안산시비 6억원 등 총 155억원의 예산이 투입되는 사업으로, 전담기관인 한국산업단지공단과 사업 수행기관인 경기테크노파크, 한국과학기술정보연구원, 한국생산성본부, 한양대학교 ERICA 산학협력단, 한국전자기술연구원이 추진하는 사업이다. 

반도체 웨이퍼 진공 척을 개발한 한백정밀은 2017년에 설립돼 반도체 생산 장비, 바이오, 2차전지, 우주항공, 로봇 등 기계 장비에 필요한 모든 정밀 부품 및 모듈형 제품을 ODM·OEM 방식으로 제조·공급하고 있다. 북미, EU, 아시아 등 전 세계 여러 국가에 반도체 정밀 부품을 수출하고 있는 수출유망중소기업이다.

'미세함의 차이가 혁신이다'라는 모토로 혁신과 품질에 중점을 두고 체계적인 품질경영시스템(QMS)과 3차원 검사 장비, 그리고 전략적으로 통합된 제조 인프라를 구축해 우수하고 정밀한 제품을 생산하고 있다. 현재 한백정밀은 국내외 글로벌 기업들과 세계 최대 반도체 시장인 미국의 반도체 장비 제조업계 1위를 비롯한 상위 기업에 수출하고 있다.

한백정밀 홍승환 대표는 "반도체 웨이퍼 진공 척은 해외 글로벌 우수 기업 기준으로 고정밀, 다기능, 고정도를 유지해야 경쟁력이 있으므로 많은 노력과 연구, 독자적인 기술 또한 필요하다"며, "무산소동 반도체 웨이퍼 진공 척의 공정 기술은 가열과 냉각이 가능하며, 웨이퍼 척을 기존 알루미늄 소재가 아닌 가공이 어렵고 높은 연성으로 변형이 쉬운 무산소동의 소재를 사용한 공정 기술 개발을 통해 더욱 정밀하고 높은 품질로 만들어 내는 한백정밀만의 독자적인 기술"이라고 말했다.