도쿄일렉트론의 제조 자회사 도쿄일렉트론테크놀로지솔루션즈는 한양대학교 내에 ‘한양대학교 TEL 리서치센터(Hanyang University TEL Research Center, 이하 HTRC)’를 설치했다고 30일 밝혔다.

HTRC는 도쿄일렉트론그룹이 국내 대학에 설치한 첫 연구센터다. 이번 설립은 한양대와 도쿄일렉트론테크놀로지솔루션즈가 반도체 디바이스용 성막 요소 기술 분야에서 수년간 공동 연구를 이어온 데 따른 것으로, 양측은 이를 바탕으로 공동 연구 및 기술 교류를 확대할 계획이다.

센터는 한양대 교수진과의 기술 교류를 통해 연구 주제를 발굴하고, 공동 연구로의 전환을 위한 운영 체제를 마련한다. 또한, 공동 연구에 참여한 학생을 대상으로 별도의 표창 제도를 운영할 예정이다.

5월 30일 열린 개소식에는 도쿄일렉트론코리아 원제형 회장, 도쿄일렉트론테크놀로지솔루션즈 하세베 가즈히데 최고기술책임자(CTO), 한양대학교 안진호 연구부총장, 전형탁 교수 등이 참석했다.

도쿄일렉트론테크놀로지솔루션즈는 이번 센터 설립이 기존의 공동 연구 활동을 기반으로 진행된 것으로, 향후 기술 개발과 연구 협력을 이어갈 계획이라고 밝혔다.